SAW滤波器与BAW滤波器的不同之处

SAWSurface Acoustic Wave，表面声波滤波器和BAWBulk Acoustic Wave，体声波滤波器是两种常见的声表面波滤波器，它们在滤波原理、工作频率范围和制造工艺等方面有一些不同之处。

1. 原理：SAW滤波器：SAW滤波器利用声表面波在压电晶体上的传播来实现滤波。当电信号施加到压电晶体上时，产生声表面波沿晶体表面传播，通过利用晶体结构的几何形状和电极的布局，可以选择性地滤除特定频率的信号。BAW滤波器：BAW滤波器则利用声波在压电晶体内部的传播来实现滤波。当电信号施加到压电晶体上时，产生声波在晶体内部传播，通过晶体的尺寸和结构设计，可以实现对特定频率的滤波。
2. 工作频率范围：SAW滤波器：SAW滤波器适用于较低的频率范围，通常在几十MHz到几GHz之间。BAW滤波器：BAW滤波器适用于较高的频率范围，通常在几GHz到几十GHz之间。
3. 制造工艺：SAW滤波器：SAW滤波器的制造相对简单，可以使用标准的微电子制造工艺，例如激光刻蚀和薄膜沉积等。BAW滤波器：BAW滤波器的制造相对复杂，通常需要使用更高级的工艺，如晶圆级MEMSMicro-Electro-Mechanical Systems制造工艺。这些工艺包括高温沉积、离子刻蚀和金属铺膜等。

总的来说，SAW滤波器适用于较低频率范围的应用，制造工艺相对简单；而BAW滤波器适用于较高频率范围的应用，制造工艺相对复杂。具体选择哪种滤波器取决于应用的需求和频率范围。